X射线光电子能谱测试

价格

非磁性样XPS测试           ￥200元

磁性样XPS测试              ￥350元

UPS紫外光电子能谱       ￥500元

深度刻蚀XPS/点             ￥400元

价带谱                           ￥350元

详情

XPS: X射线光电子能谱

UPS紫外光电子能谱: 价带谱、功函数

刻蚀XPS: 表面清洁、深度刻蚀

注意：

1.送样须用简单编号标注好样品编号，样品含有卤族元素需说明；

2.可开具正规测试费发票，可签订正式测试合同；

3.数据提供源数据即VGD格式和Excel格式；

4.测试周期一般为到样后7个工作日。

样品要求：

1.粉末测试需要量15毫克以上，样品需干燥；

2.块体和薄膜样品尺寸小于5*5mm，厚度低于4mm，表面须平整，样品需干燥；

3.液体样须滴在铝箔或者硅片等载体上烘干形成液膜，一般重复3-5次烘干滴液差不多即可测不到基底；

4.材料必须是无放射性、无毒性、无挥发性物质(如单质Na, K, S, P, Zn, Se, As, I, Te, Hg等)，卤族元素请提前告知；

5.磁性样品（样品含有铁镍钴均需要算磁性样），可以测试，请送样时告知；

6.UPS样品需要导电，部分粉末样可压片测试，薄膜样品尺寸需1cm*1cm*0.5mm左右。

XPS是分析研究固体表面元素成份、元素分布、元素价态和化学态等表面化学特性方面的重要仪器，原则上能分析除H、He以外的所有元素，尤其适用于分析材料表面元素的化学价等，检测灵敏度0.1%～1%原子浓度比。

XPS适于分析固体样品，形状不限，粉末样品也可以分析，但以表面光滑的片状为好，如纳米薄膜材料，催化剂，微电子材料，高分子材料，生物材料，金属材料，半导体材料，无机非金属材料等。原则上样品表面应维持欲分析状态。对表面污染的样品可采取适当措施，予以清洁，安装时应使样品与样品托有良好的电接触，具有放射性、挥发性的样品不宜分析。

技术指标：

1. 极限能量分辨率为0.43eV;

2. 分析室真空度优于5×10-10 mbar;

3. 能量分析范围为0-5000eV;

4. 通过能范围为1-400eV。

5. 固体样品的表面成分分析、化学态分析，取样深度一般约为1-10nm,其中金属材料为0.5-3nm，无机材料2-4nm，有机高聚物5-10nm;

测试原理

X射线光电子能谱分析(XPS)是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子，可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得待测物组成。XPS主要应用是测定电子的结合能来实现对表面元素的定性分析，包括价态。