纳米压痕仪

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纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质，如载荷-位移曲线、弹性模量 (Elastic Modulus)、硬度(Hardness)、断裂韧性(Fracture Toughness)、应变硬化效应(Strain Hardening Effect)、粘弹性(Viscoelastic)或蠕变(Creep)行为等。压痕、划痕、压痕形貌扫描。

可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括半导体、薄膜和 MEM（晶圆应用）；硬质涂层和 DLC 膜；复合材料、纤维和聚合物；金属和陶瓷；以及生物材料和生物学。

样品要求：

上下表面平行并经抛光，直径不超过30mm，高度不超过35mm(方形或圆柱体），提供泊松比。被测表面硬度超过20Gpa或磨损实验需要自备压针。