透射电镜TEM数据分析

高分辨电子显微术(HREM 或HRTEM)是一种基于相位衬度原理的成像技术。入射电子束穿过很薄的晶体试样，被散射的电子在物镜的背焦面处形成携带晶体结构的衍射花样，随后衍射花样中的透射束和衍射束的干涉在物镜的像平面处重建晶体点阵的像。

从形貌观察（TEM）、原位的电子衍射分析（Diff），发展到还可以进行原位的成分分析（能谱仪EDS、特征能量损失谱EELS）、表面形貌观察（二次电子像SED、背散射电子像BED）和透射扫描像（STEM）。TEM数据分析可以得到样品的粒径大小、粒径统计、晶体结构及晶粒尺寸、晶相组成、原子排序。

常用软件：Digital Micrograph(DM)，ImageJ，Image-Pro Plus(IPP)，simple-PCI，nanomeasure

注意：

1. 离子束减薄，很可能引入Ar。

2.  FIB制样，很可能引入Pt、Ga。

3.  样品的减薄与保存都有可能氧化。

4.  点解双喷溶液可能引入对应的元素。如高氯酸溶液引入Cl。

5.  超薄切片形成的新鲜切面很容易在大气中被腐蚀，甚至严重改变样品的缺陷结构。

6.  测试时使用Cu网、Mo网也有可能引入Cu、Mo。

     7.  请把数据信息文档上传：包括样品数量、编号、样品测试数据；样品及数据描述；实验目的；手头有的参考文献等。请与工程师充分交流沟通。

         数据处理周期3-10天。