XPS数据分析

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       XPS只能检测原子序数高于 3 或更高的元素，因为氢和氦原子非常小，检测到它们的概率几乎为零。此外，它只能分析 1 到 10nm 的深度。 XPS 光谱绘制了检测到的电子数量与检测到的电子结合能的关系。

      由于每个元素都会在特征结合能下产生一个特征峰，因此可以识别表面的元素，并且由于每个峰中的电子数与元素的数量直接相关，因此被分析区域内的元素组成可以计算。系统中已有包含动能和结合能的表格，这将有助于识别材料表面中存在的元素。XPS数据分析可以对全谱进行定性定量分析；精细谱定量分析，以及标注拟合元素的化学态、峰位置和含量；ARXPS线扫、面扫、深度剖析等特殊数据的分析。

注意：

请把数据信息文档上传：包括样品数量、编号、样品测试数据；样品及数据描述；实验目的；手头有的参考文献等。测试周期3-10天。

XPS的数据处理软件有Thermo Avantage、XPS peak, Casa XPS等。